用于過程監(jiān)測和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備

普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng)，在我們這里您將會找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPro 是氣體分析較基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPro 是一個普遍適用的質(zhì)譜儀，其磁場軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點(diǎn)。

并且 PrismaPro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì)，模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外，在研發(fā)領(lǐng)域也有無數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然，普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件，例如各種離子源陰極。

什么是質(zhì)譜儀

質(zhì)譜測量是一種可以用來測量原子和分子質(zhì)量的方法。通過這種方式測量化學(xué)混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場使離子加速，使得它們在其各自的質(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個質(zhì)譜儀包括一個離子源、一個質(zhì)量過濾器和一個檢測器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過濾器來區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng)，四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。

質(zhì)譜儀及其應(yīng)用

四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿，構(gòu)成了四極場。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個場（因此命名為四極）。靜態(tài)電場使離子加速以后，離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會允許給定質(zhì)量的一個粒子通過，。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。

四極桿質(zhì)譜儀是用于在真空系統(tǒng)中評估殘余氣體成分的經(jīng)典測量儀。

質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應(yīng)的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個操作階段有用的信息，無論是用于確定安裝后的氣密性和無污染性還是在操作真空處理時(shí)用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對檢測器的選擇。在高真空中，通常一個法拉第檢測器就足夠了，而在高真空中檢測非常低的氣體密度時(shí)，一個二級電子倍增器是必要的。另一個重要標(biāo)準(zhǔn)則是待檢測的質(zhì)量范圍。

在傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)中，大氣中的氣體，例如氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻⑺羝龋ǔＪ艿捷p烴污染是重點(diǎn)。為了檢測這些氣體，范圍在 1 至 100 原子質(zhì)量單位 (u) 之間的四極桿質(zhì)譜儀是理想的，因?yàn)樵谠摲秶鷥?nèi)顯示了良好的質(zhì)量分離。若較重的氣體及其組成成分也須檢測出來，如長鏈烴，普發(fā)真空也為此提供了范圍在 1?200 u 或 1?300 u 之間的質(zhì)量過濾器。

開放的離子源在大多數(shù)殘余氣體分析任務(wù)中是較佳選擇，因?yàn)樗鼈儗⒎€(wěn)健的設(shè)計(jì)與較高的檢測靈敏度相結(jié)合。憑借封閉或交叉束離子源，可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務(wù)。對于超高真空范圍，也可提供具有極低釋氣率的柵網(wǎng)離子源。由于有大量的部件可供選擇，且得益于普發(fā)真空四極桿質(zhì)譜儀的精確配置，質(zhì)譜儀可作為所有測量任務(wù)的較佳選擇。我們的產(chǎn)品和應(yīng)用專家擁有多年的經(jīng)驗(yàn)，將十分樂意為您提供有關(guān)殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。

帶有法拉第檢測器的四極桿質(zhì)譜儀是用于高真空氣體成分定性分析的首選設(shè)備。

相比真空測量儀，四極桿質(zhì)譜儀 (QMS) 可提供遠(yuǎn)遠(yuǎn)更多的有關(guān)真空的信息。在高真空中，往往一個法拉第杯就足夠用來獲取有關(guān)泄漏、水汽析出或碳?xì)浠衔镂廴镜男畔ⅰＦ瞻l(fā)真空在此提供一系列具有不同測量范圍和燈絲材料的四極桿質(zhì)譜儀。

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開放式離子源

模塊化結(jié)構(gòu)的緊湊型質(zhì)譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇：具有極高靈敏度和線性的開放式離子源，適用于殘余氣體分析和 HV 與極高真空范圍內(nèi)分析性任務(wù)。適用于與進(jìn)氣系統(tǒng)接合的氣密離子源。適用于直接進(jìn)氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對極高真空內(nèi)殘余氣體分析，具有極低脫氣率和解吸率。

產(chǎn)品描述

點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測和真空診斷

測量方案定義簡單

指示極限低

網(wǎng)絡(luò)通過以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)

PrismaPro 緊湊型質(zhì)譜儀

針對 Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測量數(shù)據(jù)的記錄、存儲和顯示

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開放式離子源, 鎢, I/O 選項(xiàng): 標(biāo)準(zhǔn)

點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測和真空診斷

測量方案定義簡單

指示極限低

針對 Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測量數(shù)據(jù)的記錄、存儲和顯示