1、 真空泵油：真空泵運轉時必須保持油位在油窗高度的1/2～3/4處。應經常檢查油位和油的污染情況（建議每周一次）。

2、 更換真空泵油及油過濾器：如果油受污染而發黑、乳化或變稠應及時換油。換油同時，應更換油過濾器。并在加入新油之前請清洗泵。

清洗、換油步驟：

① 停泵將熱油放掉。

② 旋上放油塞，運轉5-10秒，將油放盡。

③ 注入清洗用油（32號普通機械油）到油窗高度的3/4處。

④ 運轉真空泵5-10分鐘。

⑤ 停泵，將油放掉。如放掉的油還是比較渾濁，達不到要求，重復3、4步驟，直到放出的油呈透明狀。

⑥ 旋上放油塞運轉5-10秒。

⑦ 將油放盡。

⑧ 注入規定的新油即可。

3、 更換排氣過濾器：如果泵溫明顯升高、電動機電流達到或超過額定電流，泵排氣口有油煙產生，則應檢查排氣過濾器是否堵塞，如堵塞，應及時更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0.6bar（表壓力）時可更換排氣過濾器。

4、 清洗吸氣過濾網：吸氣濾網應保持清潔，以免抽速下降。

5、 貯藏：如果泵長期擱置不用，應將油放盡并清洗泵，然后注入規定的新油放置在干燥場所。